工業用電気ヒーター総合カタログ 2015
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圧力損失(MPa))℃(T⊿度温昇上N2流量(NL/min)配管・タンク用ヒーター容器用ヒーター金属加熱用ヒーター液体加熱用気体加熱用ヒーターヒーター関連材料温度制御機器温度センサー断熱材技術資料■性能特性表この特性表はN2ガスを対象とした際の、昇温能力(⊿T)と圧力損失の相関性を示しています。昇温能力(⊿T)=出口温度ー入り口温度■構成加熱部(内管)材質温度センサー温度制御方法 ※制御器は内蔵して いません。■特長・ 気体にヒーターが直接触れない間接的加熱方式ですから流体へのクリーン度を保つことができます。・ 流体が通過する内管はループ状に設計されていますから、流体に攪拌作用が加わり熱効率を高めます。・ 管内温度の制御、出口温度のモニターなどの温度管理には、過昇温防止機能付きのコンパクトな温度管理システムが用意されています。(別売)■用途・ウエハー洗浄装置等、乾燥用N2ガスの昇温機構として・サンプリングガスの昇温機として・炉内パージガスのプレヒーターとして・クリーンなスチーマーとして・その他クリーン温風・不活性ガスの昇温機として200W236(H)×235(W)×52(D)mm400W285(H)×290(W)×82(D)mm800W335(H)×338(W)×82(D)mmステンレス SUS316(PFAでの製作も可能)K熱電対×2本・内蔵温度センサーと外付けの電子式温度調節器によるヒーター温度制御。 (出口ガス温度とヒーター温度に差が生じます。)・出口温度検知(外付け温度センサー)と、外付けの電子式温度調節器とによる温度制御。この場合には流量センサーと付属センサーでヒーター過昇温の制御が必要になります。・内蔵温度センサーと外付けの電子式温度調節器による異温度検知。・内蔵温度ヒューズによる遮断制御(再復帰はしません)150℃200150100806050403020102030405060801000.50.40.30.20.10.080.060.050.040.030.020.01200300400131過熱防止機能設定温度上限グラフは実測値を元に編集した参考値であり、保証値ではございません。機種選定の目安として下さい。特性表の見方使用領域商品コード10839-0110839-0210839-0310839-0410839-0510839-06YHU-200-1YHU-200-2YHU-400-1YHU-400-2YHU-800-1YHU-800-2流量84NL/min以下では、150℃の昇温能力があります。流量100NL/minでは130℃の昇温可能で、その時の圧力損失は約0.053MPaになります。型式使用電圧負荷電力100V単相200V単相100V単相200V単相100V単相200V単相外形寸法重量接続口口径約2kgRC1/4約4kgRC1/4約5kgRC1/2圧力損失−−−YHU-800-1YHU-800-2表示機種■注意・本器には活性ガスを流さないで下さい。・本器は防水、及び防爆仕様品ではございません。・制御回路の入力電源電圧は、本器の定格値でご使用ください。 定格値外の電圧を加えると、故障、又は本器の特性が得られない場合があります。www.yagami-inc.co.jpYHU-200-1YHU-200-2YHU-400-1YHU-400-2例:YHU-400流体の加熱流体加熱器YHU型89131

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