工業用電気ヒーター総合カタログ vol8

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90配管・タンク用ヒーター容器用ヒーター金属加熱用ヒーター液体加熱用ヒーター気体加熱用ヒーター関連材料温度制御機器温度センサー断熱材技術資料134134流体の加熱上昇温度⊿Ｔ（℃）圧力損失（MPa）N2流量（NL／min）150200100806050403020102030405060801002003004000.50.40.30.20.10.080.060.050.040.030.020.01流体加熱器YHU型■特長・気体にヒーターが直接触れない間接的加熱方式ですから流体へのクリーン度を保つことができます。・流体が通過する内管はループ状に設計されていますから、流体に攪拌作用が加わり熱効率を高めます。・管内温度の制御、出口温度のモニターなどの温度管理には、過昇温防止機能付きのコンパクトな温度管理システムが用意されています。（別売）■構成加熱部（内管）材質ステンレス　SUS316（PFAでの製作も可能）温度センサーK熱電対×2本温度制御方法　※制御器は内蔵して　いません。・内蔵温度センサーと外付けの電子式温度調節器によるヒーター温度制御。 （出口ガス温度とヒーター温度に差が生じます。）・出口温度検知（外付け温度センサー）と、外付けの電子式温度調節器とによる温度制御。この場合には流量センサーと付属センサーでヒーター過昇温の制御が必要になります。過熱防止機能・内蔵温度センサーと外付けの電子式温度調節器による異温度検知。・内蔵温度ヒューズによる遮断制御（再復帰はしません）設定温度上限150℃■用途・ウエハー洗浄装置等、乾燥用N2ガスの昇温機構として・サンプリングガスの昇温機として・炉内パージガスのプレヒーターとして・クリーンなスチーマーとして・その他クリーン温風・不活性ガスの昇温機として商品コード型式使用電圧負荷電力外形寸法重量接続口口径10839-01YHU-200-1100V単相200W236（H）×235（W）×52（D）mm約2kgRC1/410839-02YHU-200-2200V単相10839-03YHU-400-1100V単相400W285（H）×290（W）×82（D）mm約4kgRC1/410839-04YHU-400-2200V単相10839-05YHU-800-1100V単相800W335（H）×338（W）×82（D）mm約5kgRC1/210839-06YHU-800-2200V単相流量84NL/min以下では、150℃の昇温能力があります。流量100NL/minでは130℃の昇温可能で、その時の圧力損失は約0.053MPaになります。例：YHU-400■性能特性表■温度制御盤（YDC-15N）へ接続する場合この特性表はＮ２ガスを対象とした際の、昇温能力（⊿Ｔ）と圧力損失の相関性を示しています。グラフは実測値を元に編集した参考値であり、保証値ではございません。機種選定の目安として下さい。昇温能力（⊿Ｔ）＝出口温度ー入り口温度■注意・本器には活性ガスを流さないで下さい。・本器は防水、及び防爆仕様品ではございません。・制御回路の入力電源電圧は、本器の定格値でご使用ください。 定格値外の電圧を加えると、故障、又は本器の特性が得られない場合があります。使用領域圧力損失−−−表示機種YHU-200-1YHU-200-2YHU-400-1YHU-400-2YHU-800-1YHU-800-2特性表の見方・YDC-15Nの出力端子へYHU電源端子を接続・YDC-15NのK熱電対（センサー）接続端子へYHU内蔵センサー端子を接続・YDC-15Nのインターロック端子へYHU内蔵温度ヒューズ端子を接続（過昇温防止として使用しますので、YDC-15Nの取扱説明書をお読み下さい）※内蔵温度センサーと温度制御盤によるヒーター温度制御を必ず行って下さい（出口ガス温度とヒーター温度には差が生じます）。※出口ガス温度により制御を行う場合は、出口ガス温度検知用の外付け温度センサーと、温度制御盤による制御を行って下さい（この場合、流体加熱器内蔵の温度センサーにより過昇温の制御が必要となります）。※内容物の流れが無い状態での通電は、オーバーヒートの原因となるため、絶対に行わないで下さい。※温度制御盤YDC-15N型の仕様については（P.152）を参照して下さい。総合カタログ Vol.8

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